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新闻详情
干式真空泵维修公司介绍干式真空泵的应用范围
日期：2022-04-04 01:51
浏览次数：794
摘要：
干式真空泵维修公司介绍到，干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。干式真空泵(干式真空泵维修)的应用广泛，主要有以下几个方面：
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
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